广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，其前身是2010年10月在成立的广东半导体照明产业技术研究院。2015年6月经省政府批准，由原广东省科学院、广东省工业技术研究院（广州有色金属研究院）、广东省测试分析研究所（中国广州分析测试中心）、广东省石油化工研究院等研究院所整合重组新广东省科学院，2016年4月成为独立法人单位广东省半导体产业技术研究院，2020年8月正式更名为广东省科学院半导体研究所。主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。在第三代氮化物半导体领域具备贯穿全产业链的研发与中试支撑能力，在集成电路领域具备设计、封装、评测等多点支撑能力。拥有近5000平方米的研发基地，其中超净实验室超1000平方米，拥有MOCVD等100多台/套关键设备，设备总价值过亿元。目前已建立材料外延、微纳加工、封装应用、分析测试四大科研平台，硬件条件达到先进水平，是国内第三代宽禁带半导体材料研究的重要基地，也是国内少数拥有完整半导体工艺链的研究平台之一，并且具备2-6英寸第三代半导体产业技术的中试能力。